MEMS 是一项技术，它是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的简称，是一种融合了微机械加工技术、微电子技术、传感器技术和控制技术等多种学科的前沿技术，具有以下特点和应用：

一、特点

1.微型化：MEMS 器件的尺寸通常在微米甚至纳米级别，与传统的机械系统相比，体积大幅缩小，重量也显著减轻，这使得其能够满足一些对空间和重量有严格限制的应用需求。

2.集成化：它能够将机械结构、传感器、执行器以及信号处理和控制电路等多种功能元件集成在一个微小的芯片上，实现了系统的高度集成，提高了系统的性能和可靠性，同时降低了成本。

3.高精度：采用微纳加工工艺制造，能够实现非常高的加工精度，从而保证了 MEMS 器件具有优异的性能和稳定性，可满足各种高精度测量和控制应用的要求。

4.低功耗：由于其微型化的特点，MEMS 器件在工作时所需的能量相对较低，非常适合于一些对功耗要求严格的便携式设备和无线传感器网络等应用场景。

二、应用

1.消费电子领域：如智能手机中的加速度计、陀螺仪等传感器，能够实现手机的屏幕旋转、游戏控制、运动监测等功能；麦克风则广泛应用于语音通话、语音识别等功能。

2.汽车工业领域：MEMS 传感器可用于测量汽车的压力、加速度、角速度、流量等参数，如轮胎压力监测系统、安全气囊触发系统、电子稳定程序控制系统等，提高了汽车的安全性、舒适性和燃油经济性。

3.医疗健康领域：可用于制造微型医疗设备，如微型压力传感器可用于测量人体眼压、颅内压等生理参数；微流控芯片可实现生物样本的快速检测和分析，为疾病的早期诊断和治疗提供有力支持。

4.航空航天领域：航空航天飞行器中，MEMS 传感器可用于监测飞行器的飞行姿态、大气参数、发动机性能等，为飞行控制系统提供准确的数据支持，确保飞行安全。

5.工业自动化领域：在工业生产过程中，MEMS 传感器可用于监测设备的振动、温度、压力、流量等参数，实现设备的状态监测和故障诊断，提高生产效率和产品质量。